半導体製造装置内で利用する薬液を再利用し、システムの簡素化・オートメーション化とコスト削減を目指す。 薬液の供給と回収は自動でおこない、さらに薬液の汚れをろ過し、循環させリユースする。 そういった目的で、薬液循環供給装置は開発されました。
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